대만 TSMC, 지진 피해 수습 "핵심 장비 무사, 70~80% 복구"

세계 1위 반도체 파운드리 TSMC, 대만 지진 직후 피해 복구
핵심 노광장비는 무사, 복구율 70~80%
지진으로 생산 직원 대피, 공장 멈춰 재고 손상 가능성

2022년 12월 29일 대만 남서부 타이난의 타이난 과학단지에서 촬영된 TSMC 사옥.로이터연합뉴스

[파이낸셜뉴스] 세계 최대 반도체 위탁생산(파운드리) 기업인 대만 TSMC가 지진으로 부서진 생산시설 복구에 나섰다. 회사 측은 반도체 제작에 필수적인 고가 장비는 망가지지 않았다며 이미 공장 복구율이 70~80%에 달한다고 주장했다.

대만 중앙통신 등 외신들에 따르면 TSMC는 3일 성명을 내고 "일부 생산라인에서 반도체 설비 일부가 손상됐지만 극자외선(EUV)를 포함한 주요 설비는 손상되지 않았다"며 "완전한 복구를 위해 가용 자원을 모두 투입하고 있다"고 밝혔다.

대만 동부 화롄현 앞바다에서는 3일 오전 규모 7.2의 강진이 발생했다. 해당 지진은 25년 만에 가장 강력한 지진이었으며 최소 9명이 숨지고 1011명이 다쳤다. 대만 당국은 4일까지 약 200회의 여진이 발생했으며 앞으로 2~3일 동안 여진이 이어질 수 있다고 전망했다.

TSMC는 3일 지진 직후 성명을 내고 안전을 위해 일부 생산 시설에서 직원들을 대피시켰다고 전했다. 같은날 TSMC 외에도 대만 2위 파운드리 업체인 유나이티드마이크로일렉트로닉스(UMC) 역시 시설을 가동을 부분 중단했다. TSMC와 UMC의 공장들은 대만 서부의 신주 과학단지와 남서부 타이난 과학단지 인근에 몰려있다. 3일 대만 서부에서도 지진이 감지되었다.

TSMC가 언급한 EUV는 얇은 실리콘 덩어리인 '웨이퍼'에 반도체 회로를 그리는 노광 장비로 1대에 수천억원에 달하는 핵심 장비다. 네덜란드 ASML에서 독점 생산하는 EUV는 7nm(나노미터·10억분의 1m) 이하 첨단 반도체 공정에 필수적이며 진동에 민감하다.

3일 TSMC는 "지진 대응 및 재해 예방에 대한 풍부한 경험과 능력을 바탕으로 정기적으로 안전 훈련을 실시, 만반의 준비를 하고 있었다"고 주장했다. 이어 "현재 웨이퍼 공장 설비의 복구율은 70%를 넘어섰고 '18공장'의 복구율은 80%를 넘어섰다"고 강조했다.

타이난에 위치한 18공장은 가장 최근에 완공되었으며 세계에서 가장 앞선 3nm 및 5nm 공정의 반도체를 만드는 공장이다. TSMC는 3일 초기 발표에서 생산 직원 일부가 대피한 이후 공장에 복귀했다고 밝혔지만 생산 시설 가동 여부는 언급하지 않았다.

외신들은 일부 최첨단 반도체의 경우 24시간 가동되는 공장의 진공 환경에서 생산된다며 생산 설비가 잠시나마 멈췄다면 생산한 반도체가 손상되었을 가능성이 있다고 주장했다.

[e-mail] 박종원 기자