삼성전자 화성캠퍼스 EUV 라인 ‘첫 삽’

반도체 미세공정 핵심 역할.. 성능.전력효율 향상에 필수
7나노 공정 시장 주도할 듯

23일 삼성전자 화성캠퍼스에서 개최된 '화성 EUV라인 기공식'에서 참석자들이 기념사진을 촬영하고 있다. 왼쪽 일곱번째부터 황성태 화성시 부시장, 김기남 삼성전자 DS부문장, 권칠승 화성병 국회의원, 정은승 삼성전자 DS부문 파운드리사업부장.

삼성전자가 대규모 투자를 결정한 경기 화성캠퍼스 파운드리(반도체 위탁생산) 라인 건설에 첫 삽을 떴다.

삼성전자는 23일 경기 화성캠퍼스에서 극자외선(EUV) 라인 기공식을 가졌다. 화성 EUV라인은 내년 하반기에 완공해 시험생산을 거쳐 2020년부터 본격 가동될 예정이다.

이번 신규 라인에는 미세공정 한계 극복에 필수적인 EUV 장비가 도입되는 것이 특징이다.

EUV는 삼성전자가 향후 반도체 미세공정 기술 리더십을 유지하는 데 핵심 역할을 할 것으로 예상된다.

반도체 산업은 공정 미세화를 통해 집적도를 높이고 세밀한 회로를 구현하며 반도체의 성능과 전력효율을 향상시켜왔다.

삼성전자는 "최근 한 자리 수 나노 단위까지 미세화가 진행되면서 보다 세밀한 회로를 구현하기 위해 기존 불화아르곤(ArF) 광원보다 파장이 짧은 EUV 장비의 도입이 불가피하다"고 설명했다.

EUV 기술이 본격 상용화되면 반도체의 성능과 전력효율을 향상시킬 수 있다. 또 회로 형성을 위한 공정수가 줄어 생산성도 획기적으로 높일 수 있다.

삼성전자는 화성 EUV라인을 통해 향후 모바일.서버.네트워크.고성능컴퓨팅(HPC) 등 첨단 반도체 수요에 적기 대응하고 7나노 이하 파운드리(위탁생산) 미세공정 시장을 주도할 방침이다.

이날 기공식에는 권칠승 국회의원, 황성태 화성시 부시장, 김기남 삼성전자 DS부문장(사장), 정은승 파운드리 사업부장(사장)을 비롯한 지역주민 등 약 300명이 참석했다.

김 사장은 "이번 화성 EUV 신규라인 구축을 통해 화성캠퍼스는 기흥.화성.평택으로 이어지는 반도체 클러스터의 중심이 될 것"이라며 "삼성전자는 산학연 및 관련 업계와의 다양한 상생협력을 통해 국가경제에 기여할 것"이라고 밝혔다.

김경민 기자